图2.世界先进月度Yeh

  荷兰拟对华限制出口DUV设备,重视供应链自主可控:  3月8日,荷兰政府表示计划对半导体技术出口实施新的管制,加入美国对华芯片出口管制的行列。3月9日,ASML发布声明称预计将不得不申请出口DUV机器中最先进部分的许可证。额外的出口管制并不涉及所有DUV光刻机,而只适用于“最先进”系统,ASML将“最先进”解读为“TWINSCANNXT:2000i及之后的DUV系统,因此主要用于成熟制程的NX
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